“宁波南大光电”自主研发的ArF(193nm)光刻胶产品近日成功通过客户的使用认证。报告显示,“本次认证选择客户50nm 闪存产品中的控制栅进行验证,宁波南大光电的ArF光刻胶产品测试各项性能满足工艺规格要求,良率结果达标。”